流量(liang)測量技(ji)術之 微小(xiǎo)流量 的測(cè)量     
半導體(tǐ)制造業(yè)、生物工(gōng)程、精細(xì)化工等(děng)的興起(qi)，使流量(liàng)測量☀️向(xiang)低端延(yan)伸，小流(liú)量計流(liú)量的要(yào)求在上(shàng)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tu)顯起來(lai)。何謂小(xiǎo)流量 ? 業界(jiè)尚無*的(de)定義和(hé)界限，小(xiao)流量因(yīn)應用領(lǐng)域而異(yì)是💁一😄個(gè)模糊的(de)概念。管(guǎn)道小流(liú)量測量(liang)體現于(yu)管徑小(xiǎo)和流速(su)❓低兩個(gè)層次，就(jiù)流程工(gōng)業而言(yán)，習慣上(shàng) DN10 甚(shèn)至 DN15 以下管(guǎn)徑流量(liàng)測量稱(chēng)之小流(liu)量測量(liang)，通常其(qí)流量🤩值(zhí)液體爲(wei) 1L/min 或(huò) 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量(liang)儀表滿(mǎn)度流量(liàng)時的流(liu)速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測量(liàng)方法
傳統(tǒng)小流量(liang)測量技(jì)術節流(liu)差壓 ( 層流(liu) ) 法(fǎ)、浮子法(fa)和容積(ji)法等有(you)了的改(gai)進，新測(cè)量技術(shu)如超聲(sheng)法㊙️、熱法(fǎ)🎯、科裏奧(ào)利法等(děng)也有成(chéng)效地應(yīng)于液體(ti)和氣體(ti)小流量(liang)測量⁉️。
2 、特點(dian)
微(wēi)小流量(liàng)與一般(ban)流量測(cè)量相比(bǐ)較，具有(you)以下特(tè)點。
1) 雷諾數(shù)低
一般管(guan)道流動(dòng)均爲紊(wen)流流動(dong)，流量儀(yí)表也是(shì)針對紊(wen)🏃‍♀️流流動(dòng)态設計(jì)的，而小(xiǎo)流量儀(yí)表因管(guǎn)徑小常(chang)處于層(céng)🆚流流動(dòng) ( 例(li)如管内(nei)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊(wěn)流過渡(dù)區流态(tai)流動，小(xiǎo)流量測(cè)量受使(shǐ)用中流(liú)體黏度(du)變化影(yǐng)♌響頗大(dà)。
2) 要(yào)用實際(ji)使用流(liu)體校準(zhun)
液(ye)體流量(liang)儀表一(yi)般用水(shuǐ)校準，氣(qì)體用空(kōng)氣校準(zhun)。若🔴知道(dao)實際🈲測(cè)量流體(ti)與校準(zhun)流體間(jian)某些物(wu)性不同(tóng)對示值(zhi)有規律(lǜ)變化時(shí)，中🔞大管(guan)徑流量(liang)儀表常(cháng)以适當(dāng)系數㊙️修(xiu)正。但㊙️有(you)些小流(liu)量儀🧡表(biǎo)受黏度(du)等流體(tǐ)物性影(yǐng)響大，須(xu)以實際(ji)使用流(liu)體校準(zhǔn)。所幸流(liu)量小，用(yòng)✂️實際使(shi)用流體(ti)校準難(nan)度不大(dà)，但在作(zuo)有害性(xìng)流體校(xiào)準時應(yīng)注意安(an)全和環(huán)境污染(rǎn)。
3) 要(yào)求測量(liang)時防止(zhǐ)污染流(liu)體
若測量(liàng)潔淨氣(qi)體和純(chún)水常不(bú)允許接(jiē)觸流體(tǐ)的儀表(biao)零件🔞材(cái)料析出(chu)離子，例(li)如半導(dǎo)體制備(bei)中儀表(biǎo)不能用(yong)金屬和(he)玻璃制(zhì)👄成，隻👣能(néng)用塑料(liao)。流體中(zhong)也不允(yǔn)許混入(rù)活動件(jiàn)的磨蝕(shí)塵粒。流(liú)量儀表(biao)流通通(tong)道要🔴盡(jìn)可能簡(jiǎn)🌏單，不應(yīng)有潴留(liu) ( 指(zhǐ)液體在(zai)體内不(bu)正常地(di)聚集停(tíng)留 ) 部位，防(fáng)止潴留(liu)介質變(biàn)質。
4) 氣泡和(he)塵埃附(fu)着的影(yǐng)響
因管徑(jing)小黏性(xing)增加，液(ye)體中微(wēi)細氣泡(pao)易在管(guǎn)系流動(dong)過程中(zhōng)🈲積聚變(biàn)大，使測(cè)量時指(zhǐ)示不穩(wěn)，度下降(jiang)。流體中(zhōng)塵埃附(fu)着測量(liang)㊙️元件也(ye)要影響(xiǎng)測量值(zhi)，例如浮(fú)🔆子流量(liàng)計的浮(fu)✌️子上沉(chen)♉積有肉(ròu)🚶‍♀️眼覺察(chá)🌈不出的(de)附着層(ceng)也會影(ying)響示值(zhi)。
5) 流(liú)量儀表(biǎo)品種使(shi)用上受(shòu)到一定(dìng)限制
在衆(zhong)多測量(liàng)原理流(liú)量儀表(biǎo)中，因各(gè)種原因(yīn)小流量(liàng)應🈲用受(shou)到一🎯些(xie)限制，當(dang)前能應(ying)用于小(xiao)流量的(de)品種如(rú)表格所(suǒ)示