簡介(jie):
FS4001系列測量(liang)氣體流量(liang)傳感器
是專門(mén)爲各類小(xiǎo)流量氣體(ti)的測量和(he)過程控制(zhì)而設計的(de)。這一🐕系列(liè)傳感器均(jun1)采用本公(gong)司自主研(yan)發的微機(jī)電系統(
MEMS
)流量傳(chuán)感芯片來(lái)制作。
FS4001系列(lie)測量氣體(ti)流量傳感(gan)器
适(shì)用于各類(lei)清潔氣體(tǐ)。*的封裝技(ji)術使之可(kě)用于各類(lèi)管🙇🏻徑,成本(běn)低、易安裝(zhuāng)、不需要溫(wēn)度壓力補(bǔ)償,可替代(dai)容積式或(huò)壓差式的(de)傳統流量(liang)傳感器。
産(chǎn)品特點:
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傳感器(qì)靈敏度高(gāo)
,
有極(ji)小的始動(dòng)流量
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傳感器芯(xin)片采用熱(rè)質量流量(liang)計量
,
無需溫度(du)壓力補償(cháng)
,
保證(zheng)了傳
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感器的高(gāo)精度計量(liàng)
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在單(dan)個芯片上(shang)實現了多(duo)傳感器集(ji)成
,
使(shi)傳感器的(de)量程比大(dà)大提高
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傳感器(qi)的零點穩(wen)定度高
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全量程(cheng)高穩定性(xìng)
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全量(liàng)程高精确(què)度和優良(liang)的重複性(xìng)
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低功(gōng)耗
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低(di)壓損
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響應時間(jiān)快
主(zhu)要參數:
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性(xìng)能參數
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FS4001
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單(dan)位
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通 徑
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1.0
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1.8
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mm
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大(dà)流量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SLPM
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量程(cheng)比
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>100:1
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精 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重(zhong)複性
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0.25
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%讀數(shù)
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零點輸出(chu)飄移
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±30
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mV
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輸出(chū)飄移
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±0.12
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%/oC
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響應(yīng)時間
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作(zuo)電源
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8~18Vdc,50mA
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輸出(chu)方式
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線性(xing),RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc
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大流量壓(yā)損
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350
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300
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pa
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大工作(zuo)壓力
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0.5
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MPa
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工作(zuo)溫度
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-10 ~ +55
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oC
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存儲(chǔ)溫度
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-20 ~ +65
|
oC
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工作(zuò)濕度
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<95%RH(無結(jié)冰、無凝露(lù))
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機械接口(kǒu)
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可拆式軟(ruǎn)管接頭
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校(xiào)準方式
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空(kōng)氣(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa
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重量(liang)
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15
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g
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