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FS4001系列實(shí)驗室氣體流(liu)量傳感器

詳細(xì)介紹

産品簡(jian)介：

FS4001系列實驗(yàn)室氣體流量(liàng)傳感器 是專門爲各(ge)類小流量氣(qì)體的測量和(hé)過程控制而(ér)設計的。這一(yi)系列傳感器(qì)均采用本公(gong)司自主研發(fā)的微機電系(xi)統（ MEMS ）流量(liang)傳感芯片來(lai)制作。

FS4001系列實(shi)驗室氣體流(liú)量傳感器 适用于各(ge)類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術(shù)使之可用于(yú)各類管徑，成(chéng)本低、易安裝(zhuang)、不需要溫度(du)壓力補償，可(kě)替代容積式(shi)或壓🏒差式的(de)傳統流量傳(chuan)感器。

産品特點(diǎn)：
- 傳感器(qi)靈敏度高 , 有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯(xin)片采用熱質(zhi)量流量計量(liang) , 無需溫(wen)度壓力補償(chang) , 保證了(le)傳
- 感器(qì)的高精度計(jì)量
- 在單(dan)個芯片上實(shí)現了多傳感(gǎn)器集成 , 使傳感器的(de)量程比大大(dà)提高
- 傳(chuán)感器的零點(diǎn)穩定度高
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全量程高精(jīng)确度和優良(liang)的重複性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間(jiān)快

機械(xiè)尺寸：

主要參數(shu)：

性能參數

FS4001

單(dan)位

通徑

1.0

大流(liu)量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

>100：1

精(jīng) 度

重複性

0.25

零點輸出(chu)飄移

線性(xìng)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc

大(dà)流量壓損

大(da)工作壓力

0.5

MPa

工(gōng)作溫度

-10 ~ +55

存儲(chu)溫度

-20 ~ +65

工作濕(shī)度

機械接(jie)口

可拆式軟(ruǎn)管接頭

重(zhong)量

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