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FS4001系列(liè)小流量氣體質量(liang)流量傳感器

簡要描述：

FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shì)專門爲各類小流(liu)量氣體🔞的測量和(hé)過程控制而設計(ji)的。這一系列傳感(gǎn)器均采🔴用本公司(sī)自主研發的微機(jī)電系統（MEMS）流量傳感(gan)芯片來制作，适用(yong)于各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使🐇之(zhī)可用于各類管徑(jìng)✨，成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bu)償，可替代容積式(shì)或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器🚶。

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詳(xiang)細介紹

産品簡介(jiè)：

FS4001系列小流量氣體(tǐ)質量流量傳感器(qì) 是專門爲各類小(xiǎo)流量氣體的測量(liàng)和過程控制而設(shè)計的。這一🏃‍♀️系列傳(chuán)感器均采用本公(gōng)司自主研發的微(wēi)機電系統（MEMS）流量📞傳(chuán)感📞芯片來制作，适(shi)用于各類清潔氣(qì)體。*的封裝技術使(shi)之可用于各類管(guan)徑，成本低、易安裝(zhuāng)🈚、不需要溫度壓力(li)補償，可替代🥰容積(jī)式或壓差式的傳(chuan)🐇統流量傳感器。

産(chǎn)品特點：

FS4001系列(liè)小流量氣體質量(liang)流量傳感器 靈敏(min)度高,有小的始動(dòng)流量傳感器芯片(pian)采用熱質🈚量流量(liang)計量,無需溫度壓(yā)力補償,保證了傳(chuan)感器的高精度計(jì)量在單個芯片上(shang)實現了多傳感器(qi)集成,使傳感器的(de)量程比大大提高(gao)傳感器的零點穩(wěn)定度高全量程高(gāo)穩定❄️性全量程♊高(gāo)精确度🏒和優良的(de)重複性低功耗低(dī)壓損響應時間快(kuai)
主要參數：

性能參(can)數	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重(zhòng)複性	0.25		%讀數
零點輸(shu)出飄移	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電(dian)源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性(xìng)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大流量(liàng)壓損	350	300	pa
大工作壓力(li)	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫(wen)度	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝露）
機械接(jiē)口	可拆式軟管接(jiē)頭
校準方式	空氣(qi)（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量(liang)	15		g

機械尺寸：

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