産品(pin)時間:2025-12-07
FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shì)專門爲各類小流(liu)量氣體🔞的測量和(hé)過程控制而設計(ji)的。這一系列傳感(gǎn)器均采🔴用本公司(sī)自主研發的微機(jī)電系統(MEMS)流量傳感(gan)芯片來制作,适用(yong)于各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使🐇之(zhī)可用于各類管徑(jìng)✨,成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bu)償,可替代容積式(shì)或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器🚶。
産品簡介(jiè):
FS4001系列小流量氣體(tǐ)質量流量傳感器(qì) 是專門爲各類小(xiǎo)流量氣體的測量(liàng)和過程控制而設(shè)計的。這一🏃♀️系列傳(chuán)感器均采用本公(gōng)司自主研發的微(wēi)機電系統(MEMS)流量📞傳(chuán)感📞芯片來制作,适(shi)用于各類清潔氣(qì)體。*的封裝技術使(shi)之可用于各類管(guan)徑,成本低、易安裝(zhuāng)🈚、不需要溫度壓力(li)補償,可替代🥰容積(jī)式或壓差式的傳(chuan)🐇統流量傳感器。
産(chǎn)品特點 :
FS4001系列(liè)小流量氣體質量(liang)流量傳感器
靈敏(min)度高,有小的始動(dòng)流量傳感器芯片(pian)采用熱質🈚量流量(liang)計量,無需溫度壓(yā)力補償,保證了傳(chuan)感器的高精度計(jì)量在單個芯片上(shang)實現了多傳感器(qi)集成,使傳感器的(de)量程比大大提高(gao)傳感器的零點穩(wěn)定度高全量程高(gāo)穩定❄️性全量程♊高(gāo)精确度🏒和優良的(de)重複性低功耗低(dī)壓損響應時間快(kuai)
主要參數:
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性能參(can)數 |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SCCM |
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量程比 |
≥100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhòng)複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸(shu)出飄移 |
±30 |
mV |
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輸出飄移(yi) |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電(dian)源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 |
線性(xìng),RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量(liàng)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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大工作壓力(li) |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫(wen)度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作濕度 |
<95%RH(無結(jie)冰、無凝露) |
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機械接(jiē)口 |
可拆式軟管接(jiē)頭 |
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校準方式 |
空氣(qi)(或其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量(liang) |
15 |
g |
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機械尺寸:
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