産品時(shí)間：2025-12-07
氣體(ti)檢測/測漏流量計(ji)傳感器靈敏度高(gao),有極小的始動流(liú)量
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量計(jì)量,無需溫度壓力(lì)補償,保😘證了傳
- 感(gan)器的高精度計量(liàng)
- 在單個芯片上實(shi)現了多傳感器集(ji)成,使傳感器的量(liàng)🤩程比大大提高
- 傳(chuan)感器的零點穩定(dìng)度高 全量程高穩(wen)定性
氣體檢測/測漏流(liu)量計
産品簡介：
FS4001系(xì)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shi)專門爲各類小流(liú)量☁️氣🛀🏻體的測量和(hé)過程控制而設計(ji)的。這一系列傳感(gǎn)器均采💰用本公司(sī)自主研發的微機(ji)電系統（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片🥰來制作，适用(yong)于各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使之(zhi)可用于🔴各類管徑(jìng)，成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式(shì)或壓差式的傳統(tǒng)💋流量傳感器。
氣體(ti)檢測/測漏流量計(ji)産品特點：
- 傳感器(qi)靈敏度高,有極小(xiǎo)的始動流量
- 傳感(gan)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需(xu)溫度壓力補償,保(bao)證了🚶傳
- 感器的高(gao)精度計量
- 在單個(ge)芯片上實現了多(duo)傳感器集成,使傳(chuán)感器的量程🍓比大(dà)大提高
- 傳感器的(de)零點穩定度高
- 全(quán)量程高穩定性
- 全(quán)量程高精确度和(he)優良的重複性
- 低(dī)功耗
- 低壓損
- 響應(ying)時間快
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
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zui大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程比(bǐ) |
2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性 |
0.25 |
%讀數(shu) |
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零點輸出飄移 |
±30 |
mV |
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輸(shu)出飄移 |
±0.12 |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作電源 |
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輸出方(fang)式 |
線性，RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工(gong)作壓力 |
MPa |
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工作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH（無結冰、無凝露(lu)） |
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機械接口 |
可拆式(shì)軟管接頭 |
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校準方(fāng)式 |
空氣（或其他氣(qi)體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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