微小氣體流量(liang)計,MF4001氣體流量計(ji)
産品簡介(jie):
FS4001系列小流(liú)量氣體質量流(liu)量傳感器是廣(guǎng)州迪川儀器儀(yi)表🈲有限公司專(zhuan)門爲各類小流(liú)量氣體的測量(liang)和過程控制而(er)設計的。這一系(xi)列傳感器均采(cǎi)用本公司自主(zhǔ)研發的微機電(diàn)系統(
MEMS)流量(liàng)傳感芯片來制(zhi)作,适用于各類(lei)清潔氣體。*的封(fēng)裝技🆚術使之可(kě)用于各類管徑(jing),成本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度壓(ya)力補償,可替代(dai)容積式或壓差(cha)式的傳統流量(liang)傳感器。
産(chan)品特點:
微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(tǐ)流量計
- 傳(chuan)感器靈敏度高(gao)
,有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯片采(cǎi)用熱質量流量(liang)計量
,無需(xu)溫度壓力補償(chang)
,保證了傳(chuan)
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個芯片上(shang)實現了多傳感(gan)器集成
,使(shǐ)傳感器的量程(chéng)比大大提高
- 傳感器的零(ling)點穩定度高
- 全量程高穩(wen)定性
- 全量(liàng)程高精确度和(hé)優良的重複性(xing)
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數:
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性能參數
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FS4001
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單位
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通(tong)
徑
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1.0
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1.8
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mm
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zui大(dà)流量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SLPM
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量程(cheng)比
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2132132132131231312100:1
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精
度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重複性(xing)
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0.25
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%讀數
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零點輸出飄移(yi)
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±30
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mV
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輸出飄移(yi)
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±0.12
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%/oC
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響應時間(jian)
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作電源(yuan)
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8~18Vdc,50mA
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輸出方式(shì)
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線性,
RS232/模拟電壓
0.5~4.5Vdc
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zui大流量壓損
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350
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300
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pa
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zui大工作壓力(lì)
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0.5
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MPa
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工作溫度(du)
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-10 ~ +55
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oC
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存儲溫度(du)
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-20 ~ +65
|
oC
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工作濕度(du)
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<95%RH(無結冰、無(wú)凝露)
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機械(xiè)接口
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可拆(chai)式軟管接頭
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校準方式
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空氣(或其他(ta)氣體),
20oC,
101.325kPa
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重量
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15
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g
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訂貨(huò)詳情請:
85628522