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微小氣體流(liu)量計,MF4001氣體流量(liang)計

簡(jian)要描述：

微小氣(qì)體流量計,MF4001氣體(tǐ)流量計是廣州(zhou)迪川儀器儀表(biao)🚩有限公司專門(mén)爲各類小流量(liàng)氣體的測量和(hé)過程控制而設(shè)計的。這一系🔅列(liè)傳感器均采用(yòng)本公司自主研(yán)發的微機電系(xì)統（MEMS）流量✔️傳感芯(xīn)片來制作，适用(yòng)于各類清潔氣(qi)體。*的封裝技♻️術(shu)使之可用于各(ge)類管徑，成本低(dī)👉、易安裝、不需要(yào)溫度壓力補償(chang)，可替代⛱️容積式(shi)或壓差式的傳(chuán)統流量☀️傳感器(qi)。

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詳細介紹(shao)

微小氣體流量(liang)計,MF4001氣體流量計(ji)

産品簡介(jie)：
FS4001系列小流(liú)量氣體質量流(liu)量傳感器是廣(guǎng)州迪川儀器儀(yi)表🈲有限公司專(zhuan)門爲各類小流(liú)量氣體的測量(liang)和過程控制而(er)設計的。這一系(xi)列傳感器均采(cǎi)用本公司自主(zhǔ)研發的微機電(diàn)系統（ MEMS）流量(liàng)傳感芯片來制(zhi)作，适用于各類(lei)清潔氣體。*的封(fēng)裝技🆚術使之可(kě)用于各類管徑(jing)，成本低、易安裝(zhuāng)、不需要溫度壓(ya)力補償，可替代(dai)容積式或壓差(cha)式的傳統流量(liang)傳感器。
産(chan)品特點：微小氣(qi)體流量計,MF4001氣體(tǐ)流量計
- 傳(chuan)感器靈敏度高(gao) ,有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯片采(cǎi)用熱質量流量(liang)計量 ,無需(xu)溫度壓力補償(chang) ,保證了傳(chuan)
- 感器的高(gāo)精度計量
- 在單個芯片上(shang)實現了多傳感(gan)器集成 ,使(shǐ)傳感器的量程(chéng)比大大提高
- 傳感器的零(ling)點穩定度高
- 全量程高穩(wen)定性
- 全量(liàng)程高精确度和(hé)優良的重複性(xing)
- 低功耗
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數：

性能參數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
zui大(dà)流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	2132132132131231312100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零點輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間(jian)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shì)	線性， RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc
zui大流量壓損	350	300	pa
zui大工作壓力(lì)	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕度(du)	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械(xiè)接口	可拆(chai)式軟管接頭
校準方式	空氣（或其他(ta)氣體）， 20oC， 101.325kPa
重量	15		g

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