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微小(xiao)氣體流量計FS4001

簡要描述：

微(wei)小氣體流量計FS4001專(zhuān)門爲各類小流量(liang)氣體的測量和過(guo)程控🔅制☎️而設計的(de)。這一系列傳感器(qi)均采用本公司♈自(zi)主✏️研發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳感芯(xin)片來制作，适用于(yu)各類清潔氣體。*的(de)封🈚裝技術使之可(ke)用于各類管徑🐕，成(cheng)本低、易安裝、不需(xū)要溫度壓力補償(chang)，可💋替代容積式或(huò)壓差式的傳統流(liu)量傳感器。

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詳細(xi)介紹

微小氣體流(liu)量計FS4001 産品簡(jian)介：
FS4001 系列小流(liú)量氣體質量流量(liang)傳感器是廣州迪(dí)川儀🌍器儀表有限(xian)公司專門爲各類(lei)小流量氣體的測(cè)量和過程控制而(ér)設計的。這一系列(liè)傳感器均采用本(běn)⭐公司自主研發的(de)微機電系統（ MEMS ）流量傳感芯片來(lái)制作，适用于各類(lèi)清潔氣體。*的封裝(zhuang)技術使之💋可用于(yú)各類管徑，成本低(di)、易安裝、不需💜要溫(wēn)度壓力補償，可替(ti)代🏃‍♀️容積式或壓差(cha)式的傳統🔴流量傳(chuán)感器。
微小氣體流(liú)量計FS4001 産品特(te)點：
- 傳感器靈(líng)敏度高 , 有極(jí)小的始動流量
- 傳感器芯片采(cǎi)用熱質量流量計(jì)量 , 無需溫度(du)壓力補償 , 保(bǎo)證了傳
- 感器(qi)的高精度計量
- 在單個芯片上(shàng)實現了多傳感器(qì)集成 , 使傳感(gan)器的量程比大大(da)提高
- 傳感器(qi)的零點穩定度高(gāo)
- 全量程高穩(wen)定性
- 全量程(chéng)高精度和優良的(de)重複性
- 低功(gōng)耗
- 低壓損
- 響應時間快
主(zhu)要參數： FS4001系列微小(xiǎo)流量計

性能(néng)參數	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	2132132132131231312100:1
精度(du)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		% 讀數
零點輸(shu)出飄移	±30		mV
輸出(chū)飄移	±0.12		%/oC
響應時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性， RS232/ 模拟(nǐ)電壓 0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大工作(zuò)壓力	0.5		MPa
工作溫(wēn)度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH （無結冰、無凝露(lù)）
機械接口	可拆式軟管接(jie)頭
校準方式(shi)	空氣（或其他(ta)氣體）， 20oC ， 101.325kPa
重(zhòng)量	15		g

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